1000度探針臺的夾具及電纜組件。探針夾具用于夾持探針、并將探針連接至測量儀器。電纜組件用于轉(zhuǎn)接、延展探針夾具上的電纜組件。根據(jù)測量應(yīng)用，可粗略地劃分為以下幾種：I-V/CV測試用、RF測試用、高壓大電流I-V/C-V測試用等。待測點需要測試探針的連接，才能與測試儀器發(fā)生交流。常見的有：普通DC測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針。

 

　　1000度探針臺屬于整個測試系統(tǒng)的基礎(chǔ)，沒有探針臺，就相當(dāng)于醫(yī)生沒有了手術(shù)臺，在普通的病床上給病人做手術(shù)將增加手術(shù)風(fēng)險。探針臺可按實現(xiàn)目標(biāo)功能不同劃分成三部分：顯微鏡、承載平臺和精密移動組件。

 

　?。?）顯微鏡。沒有該配置，所有精密操作將無從談起。目前行業(yè)內(nèi)常見的配置有三種：體視顯微鏡、金相顯微鏡、單筒顯微鏡，前兩種用得多。

　　（2）承載平臺。該部分是構(gòu)成探針臺骨架，可分為顯微鏡支架、定位器平臺和樣品臺（載物臺）。不同的顯微鏡，顯微鏡的支架會有所不同，通常有立柱安裝和龍門安裝兩種配置。定位器平臺用于放置定位器（探針座）、形狀和尺寸根據(jù)測試應(yīng)用不同會有不同的設(shè)計形式。樣品臺（載物臺）用于承載待測樣品，通常根據(jù)晶圓尺寸設(shè)計，常用的尺寸從2~12英寸。除了承載樣品的功能，樣品臺還可根據(jù)測量需求，設(shè)計為帶測量通路和帶精密控溫的形式。

　?。?）精密移動組件。以上承載平臺都配套了相應(yīng)的移動定位功能，方便用戶對顯微鏡、待測樣品及定位器進(jìn)行精密的移動。通常有X-Y-Z-R-T這些方向移動功能。