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中頻電源表面清洗離子清洗機(jī)，在真空腔體里，通過(guò)射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無(wú)序的等離子體，通過(guò)等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面.以達(dá)到清洗目的

射頻電源光刻膠清洗等離子清洗機(jī)，不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能，如氧氣的等離子體具有很高的氧化性，能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體，從而達(dá)到清洗的效果。

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射頻真空等離子清洗機(jī)，不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能，如氧氣的等離子體具有很高的氧化性，能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體，從而達(dá)到清洗的效果。

中頻小型真空等離子清洗機(jī)，不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能，如氧氣的等離子體具有很高的氧化性，能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體，從而達(dá)到清洗的效果。

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射頻滾筒式等離子清洗機(jī)，在真空腔體里，通過(guò)射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無(wú)序的等離子體，通過(guò)等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面.以達(dá)到清洗目的

高溫高密度等離子體腔體通常用于制造高真空環(huán)境下的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備和工業(yè)設(shè)備。這些設(shè)備包括：惰性氣體保護(hù)焊接設(shè)備、電子束物理氣相沉積設(shè)備、分子束外延設(shè)備、離子束蝕刻設(shè)備。除了以上應(yīng)用，真空石英腔體還可以用于制...

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